减薄
4/6寸SiC减薄≥75um、4/6寸Si减薄≥200um
裸片挑片分选
实现400*400μm>芯片分选到UV膜
其他工艺业务
根据客户需求,可提供不同阶段单步工序业务
激光划片
4/6寸SiC,厚度50-500μm,chipping≤15μm,实现划片道最小60um
刀轮划片
100um SiC实现划片道≥60um、100um GaAs实现划片道≥30um

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