标准0.25um工艺
采用0.25μm栅长T型栅(T-gate)的GaN HEMT工艺,通过SiN钝化层有效抑制电流崩塌效应,并结合源场板(Source Field Plate)技术以重塑沟道电场分布,显著提升器件的击穿电压。该工艺平台集成了MIM电容与TaN薄膜电阻,支持无源器件高精度制作;同时引入空气桥互联(Air Bridge)以降低大功率条件下的寄生电容与信号串扰,并辅以背面通孔(Backside Via)工艺实现低热阻接地。该工艺主要面向Ku波段及以下频段的MMIC与功率管制作,标准工作电压Vds为28V。
标准0.45um工艺
采用0.45μm栅长T型栅(T-gate)的GaN HEMT工艺,通过SiN钝化层有效抑制电流崩塌效应,并结合源场板(Source Field Plate)技术优化沟道电场分布,显著提升器件击穿电压。该工艺平台集成了MIM电容与TaN薄膜电阻,实现高精度无源器件集成;同时引入空气桥互联(Air Bridge)降低大功率条件下的寄生电容与信号串扰,并辅以背面通孔(Backside Via)工艺实现低热阻接地。该工艺主要面向S波段及以下频段的大功率功率管制作,具有较高的工作电压和输出功率能力,标准工作电压Vds为48V。
特色工艺节点0.30um
基于博康特色工艺的0.30μm GaN HEMT节点,采用0.30μm栅长T型栅(T-gate)结构,结合SiN钝化层有效抑制电流崩塌效应,并引入源场板(Source Field Plate)技术优化沟道电场分布,显著提升器件击穿电压。该工艺平台集成MIM电容与TaN薄膜电阻,满足高精度无源器件制作需求;同时采用空气桥互联(Air Bridge)降低大功率条件下的寄生电容与信号串扰,并辅以背面通孔(Backside Via)工艺实现低热阻接地。该节点定位于X波段及以下频段的MMIC与功率管制作,兼具良好的频率特性与输出功率能力,在保持较高工作电压(Vds=48V)的同时,相比0.45μm工艺实现了更优的功率密度与增益性能。


